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雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

簡要描述:廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510,均勻性高的電極構造,操作簡單的觸摸屏控制器,適用于研究開發的小型等離子清洗機。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

  • 產品型號:PDC200/PDC210/PDC510
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-02-27
  • 訪  問  量:410

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詳細介紹
品牌YAMATO/日本雅馬拓產地類別國產
應用領域能源,電子,電氣

廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510,均勻性高的電極構造,操作簡單的觸摸屏控制器,適用于研究開發的小型等離子清洗機。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

儀器特點:

DP模式(PDC510標配·PDC200/210選配)。

RIE模式。

均勻性高的電極構造。

操作簡單的觸摸屏控制器。

型號

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE(DP模式選配)

電極構造

平行平板(固定)

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

反應腔尺寸

W400xD250Lx150mm

W500xD300Lx200mm

電極尺寸

W250xD170mm

W400xD200mm

反應室材質

2系統(Ar、O2)

填充氣體

N2或干燥空氣

反應氣體流量控制

流量計

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵(約345L/分)標配

油泵(500L/分)標配

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個

外形尺寸

W540xD600xH600mm

W540xD600xH600mm

W700xD700xH1285mm

重量

100KG

105KG

180KG

電源

單相AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀




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